三坐標(biāo)測量機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)

一、結(jié)構(gòu)形式

    三坐標(biāo)測量機(jī)是由三個正交的直線運動軸構(gòu)成的,這三個坐標(biāo)軸的相互配置位置（即總體結(jié)構(gòu)形式）對測量機(jī)的精度以及對被測工件的適用性影響較大。

二、工作臺

    早期的三坐標(biāo)測量機(jī)的工作臺一般是由鑄鐵或鑄鋼制成的,但近年來,各生產(chǎn)廠家已廣泛采用花崗巖來制造工作臺,這是因為花崗巖變形小、穩(wěn)定性好、耐磨損、不生銹,且價格 低廉、易于加工。有些測量機(jī)裝有可升降的工作臺,以擴(kuò)大Z軸的測量范圍,還有些測量機(jī)備有旋轉(zhuǎn)工作臺,以擴(kuò)大測量功能.

三、導(dǎo)軌

    導(dǎo)軌是測量機(jī)的導(dǎo)向裝置,直接影響測量機(jī)的精度,因而要求其具有較高的直線性精度。在三坐標(biāo)測量機(jī)上使用的導(dǎo)軌有滑動導(dǎo)軌、滾動導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌,但常用的 為滑動導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌,滾動導(dǎo)軌應(yīng)用較少,因為滾動導(dǎo)軌的耐磨性較差,剛度也較滑動導(dǎo)軌低。在早期的三坐標(biāo)測量機(jī)中,許多機(jī)型采用的是滑動導(dǎo)軌?；瑒訉?dǎo)軌 精度高,承載能力強,但摩擦阻力大,易磨損,低速運行時易產(chǎn)生爬行,也不易在高速下運行,有逐步被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢。目前,多數(shù)三坐標(biāo)測量機(jī)已采用空氣 靜壓導(dǎo)軌（又稱為氣浮導(dǎo)軌、氣墊導(dǎo)軌）,它具有許多優(yōu)點,如制造簡單、精度高、摩擦力極小、工作平穩(wěn)等。

    氣浮技術(shù)的發(fā)展使三坐標(biāo)測量儀在加工周期 和精度方面均有很大的突破。目前不少生產(chǎn)廠在尋找高強度輕型材料作為導(dǎo)軌材料,有些生產(chǎn)廠已選用陶瓷或高膜量型的碳素纖維作為移動橋架和橫梁上運動部件的 材料。另外,為了加速熱傳導(dǎo),減少熱變形,ZEISS公司采用帶涂層的抗時效合金來制造導(dǎo)軌,使其時效變形極小且使其各部分的溫度更加趨于均勻一致,從而 使整機(jī)的測量精度得到了提高,而對環(huán)境溫度的要求卻又可以放寬些。